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LED外延结构及其生长方法
摘要:
本发明公开了一种LED外延结构,包括:蓝宝石衬底;低温缓冲层,位于所述蓝宝石衬底之上;高温GaN层,位于低温缓冲层之上;高温N型GaN层,位于高温GaN层之上;过渡层,位于高温N型GaN层之上,其中过渡层为Si3N4/GaN超晶格层和不掺杂的GaN层交替排列的过渡层,该过渡层的厚度为30‑120nm;发光层,位于过渡层之上,发光层包括交替排列的掺杂In的InxGa(1‑x)N层和不掺杂的GaN层;P型AlGaN层,位于发光层之上;以及,高温P型GaN层,位于P型AlGaN层之上。本发明还公开了一种LED外延结构的生长方法。本发明提供的LED外延结构减少了高温N型GaN层和发光层之间的应力。
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