发明授权
CN104409590B LED外延结构及其生长方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: LED外延结构及其生长方法
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申请号: CN201410634596.0申请日: 2014-11-12
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公开(公告)号: CN104409590B公开(公告)日: 2017-11-17
- 发明人: 张宇 , 苗振林 , 牛凤娟
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区
- 代理机构: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所
- 代理商 于淼; 孙婷
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种LED外延结构,包括:蓝宝石衬底;低温缓冲层,位于所述蓝宝石衬底之上;高温GaN层,位于低温缓冲层之上;高温N型GaN层,位于高温GaN层之上;过渡层,位于高温N型GaN层之上,其中过渡层为Si3N4/GaN超晶格层和不掺杂的GaN层交替排列的过渡层,该过渡层的厚度为30‑120nm;发光层,位于过渡层之上,发光层包括交替排列的掺杂In的InxGa(1‑x)N层和不掺杂的GaN层;P型AlGaN层,位于发光层之上;以及,高温P型GaN层,位于P型AlGaN层之上。本发明还公开了一种LED外延结构的生长方法。本发明提供的LED外延结构减少了高温N型GaN层和发光层之间的应力。
公开/授权文献
- CN104409590A LED外延结构及其生长方法 公开/授权日:2015-03-11
IPC分类: