一种在大直径6H/4H‑SiC硅面和碳面双面同时生长石墨烯的方法
摘要:
本发明涉及一种在大直径6H/4H‑SiC硅面和碳面双面同时生长石墨烯的方法。该方法包括:将6H/4H‑SiC晶片硅面和碳面进行抛光、清洗,将加工好的6H/4H‑SiC晶片平放在单晶生长炉坩埚中的石墨托架上,碳面朝下;升温至1200‑1300℃,通氩气和氢气,然后升温至1400‑1450℃,保温10‑15min;关闭氢气,继续通氩气,并通入含硅气体,升温至1500‑1600℃,保温10‑30min,完成双面石墨烯的生长;继续通氩气,压力控制在800‑900mbar,降温至800‑900℃;关闭气源。本发明的生长方法使得SiC外表面均覆盖石墨烯,导热性能增加,有利于器件稳定工作;可用于制作传感器或电容器的材料。
0/0