一种在半导体材料表面制备厚镍涂层的方法
摘要:
一种在半导体材料表面制备厚镍涂层的方法。其特征在于将N型或P型Bi2Te3材料脱脂除油后;用46#锆刚玉,吹砂压力0.1~0.2MPa,喷距150~200mm,角度45~80°吹砂;采用等离子喷枪电流500~700A,氢气5~7L/min,氩气40~60L/min;喷涂粉末为纯度≥99%的工业纯镍粉,粒度‑45+15μm,送粉速率80~120g/min;喷距150~180mm,走枪速度800~2000mm/s,每遍沉积10~20μm,得到涂层总厚度20~80μm的镍涂层。本发明的方法可在半导体材料表面获得厚度大于20μm以上的厚镍涂层,涂层沉积效率高、速度快,厚度均匀,对喷涂原料要求不高,涂层与半导体材料的结合力优良。
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