发明授权
- 专利标题: 一种在半导体材料表面制备厚镍涂层的方法
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申请号: CN201410689817.4申请日: 2014-11-26
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公开(公告)号: CN104357784B公开(公告)日: 2017-05-10
- 发明人: 张吉阜 , 杨焜 , 邓春明 , 邓畅光 , 刘敏 , 代明江 , 周克崧
- 申请人: 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)
- 申请人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人: 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)
- 当前专利权人: 广东省科学院新材料研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构: 广东世纪专利事务所
- 代理商 千知化
- 主分类号: C23C4/08
- IPC分类号: C23C4/08 ; C23C4/02 ; C23C4/134
摘要:
一种在半导体材料表面制备厚镍涂层的方法。其特征在于将N型或P型Bi2Te3材料脱脂除油后;用46#锆刚玉,吹砂压力0.1~0.2MPa,喷距150~200mm,角度45~80°吹砂;采用等离子喷枪电流500~700A,氢气5~7L/min,氩气40~60L/min;喷涂粉末为纯度≥99%的工业纯镍粉,粒度‑45+15μm,送粉速率80~120g/min;喷距150~180mm,走枪速度800~2000mm/s,每遍沉积10~20μm,得到涂层总厚度20~80μm的镍涂层。本发明的方法可在半导体材料表面获得厚度大于20μm以上的厚镍涂层,涂层沉积效率高、速度快,厚度均匀,对喷涂原料要求不高,涂层与半导体材料的结合力优良。
公开/授权文献
- CN104357784A 一种在半导体材料表面制备厚镍涂层的方法 公开/授权日:2015-02-18
IPC分类: