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CN104160477B 压印方法、压印装置以及使用其的物品制造方法 有权

压印方法、压印装置以及使用其的物品制造方法
摘要：
一种压印方法包括：使形成在模具M上的图案与被供给基板W上的压射区的压印材料R接触；并且在接触时，在根据压印材料R填充到形成在模具M上的图案中的进展改变用于检测形成在基板W上的压射区上的多个对准标记AMM和AMW的检测器的位置的同时，检测所述多个对准标记AMM和AMW。
摘要（英）：

A imprint method includes contacting the pattern formed on the mold M with the imprint material R supplied to a shot on the substrate W; and detecting a plurality of alignment marks AMM and AMW in the contacting while changing a position of a detector for detecting the plurality of alignment marks AMM and AMW formed on the shot on the substrate W in accordance with a progress of filling of the imprint material R into the pattern formed on the mold M.

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