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发明公开
CN104160477A 压印方法、压印装置、以及使用其的物品制造方法 有权

  • 专利标题： 压印方法、压印装置、以及使用其的物品制造方法
  • 专利标题（英）： Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method using the same
  • 申请号： CN201380013086.5
    申请日： 2013-03-07
  • 公开(公告)号： CN104160477A
    公开(公告)日： 2014-11-19
  • 发明人: 林望
  • 申请人： 佳能株式会社
  • 申请人地址： 日本东京
  • 专利权人： 佳能株式会社
  • 当前专利权人： 佳能株式会社
  • 当前专利权人地址： 日本东京
  • 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
  • 代理商 杨小明
  • 优先权： 2012-053993 2012.03.12 JP; 2013-041424 2013.03.04 JP
  • 国际申请： PCT/JP2013/001435 2013.03.07
  • 国际公布： WO2013/136730 EN 2013.09.19
  • 进入国家日期： 2014-09-09
  • 主分类号： H01L21/027
  • IPC分类号： H01L21/027 ;  B29C59/02
压印方法、压印装置、以及使用其的物品制造方法
摘要：
一种压印方法包括：使形成在模具M上的图案与被供给基板W上的压射区的压印材料R接触；并且在接触时，在根据压印材料R填充到形成在模具M上的图案中的进展改变用于检测形成在基板W上的压射区上的多个对准标记AMM和AMW的检测器的位置的同时，检测所述多个对准标记AMM和AMW。
摘要（英）：

A imprint method includes contacting the pattern formed on the mold M with the imprint material R supplied to a shot on the substrate W; and detecting a plurality of alignment marks AMM and AMW in the contacting while changing a position of a detector for detecting the plurality of alignment marks AMM and AMW formed on the shot on the substrate W in accordance with a progress of filling of the imprint material R into the pattern formed on the mold M.

公开/授权文献
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