- 专利标题: 氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法
- 专利标题(英): Silica glass crucible and method for producing monocrystalline silicon using same
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申请号: CN201280065350.5申请日: 2012-10-31
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公开(公告)号: CN104114753A公开(公告)日: 2014-10-22
- 发明人: 须藤俊明 , 佐藤忠广 , 北原江梨子 , 藤田刚司
- 申请人: 株式会社SUMCO
- 申请人地址: 日本秋田县秋田市茨岛5-14-3
- 专利权人: 株式会社SUMCO
- 当前专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本秋田县秋田市茨岛5-14-3
- 代理机构: 上海翼胜专利商标事务所
- 代理商 翟羽
- 优先权: 2011-290479 2011.12.30 JP; 2011-290480 2011.12.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/078258 2012.10.31
- 国际公布: WO2013/099432 JA 2013.07.04
- 进入国家日期: 2014-06-30
- 主分类号: C30B29/06
- IPC分类号: C30B29/06 ; C03B20/00 ; C30B15/10
摘要:
本发明有效地抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲以及侧壁部向坩埚内部的翻倒。另外,抑制在硅单晶上发生位错,从而提高单晶收率。提供一种用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚,其具备:具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部、由曲线构成的研钵状的底部、和连接侧壁部和底部的弯曲部。在通过该氧化硅玻璃坩埚的旋转轴的截面上,以弯曲部的内表面的曲率从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。
公开/授权文献
- CN104114753B 氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法 公开/授权日:2017-10-10
IPC分类: