本发明涉及工业合成气中高压羰化生产草酸二甲酯并加氢制乙二醇的工艺和装置系统，该工艺为采用工业级NO、O2和甲醇为原料发生酯化反应生成亚硝酸甲酯，然后用工业级CO和亚硝酸甲酯在板式反应器中进行羰化反应生成主要为草酸二甲酯和碳酸二甲酯的羰化产物，羰化产物经分离后获得碳酸二甲酯产品，草酸二甲酯在板式反应器中经后续加氢生成乙二醇产品；而酯化反应的废酸和羰化反应的驰放气经耦合回收处理循环利用；所述系统包括酯化反应系统、羰化反应系统、驰放气与废酸耦合回收系统以及加氢反应系统。该工艺具有显著节约装置消耗的特点，特别是硝酸废液循环利用与驰放气循环利用高度耦合及其分离工艺，反应废气中原料的回收循环利用，效果显著。