发明授权
- 专利标题： 三氯硅烷的纯化
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申请号： CN201280065700.8申请日： 2012-11-02
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公开(公告)号： CN104080735B公开(公告)日： 2018-05-29
- 发明人: B·黑兹尔坦 , S·法伦布鲁克 , 秦文军
- 申请人： GTAT公司
- 申请人地址： 美国新罕布什尔州
- 专利权人： GTAT公司
- 当前专利权人： GTAT公司
- 当前专利权人地址： 美国新罕布什尔州
- 代理机构： 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟
- 优先权： 61/554,712 2011.11.02 US
- 国际申请： PCT/US2012/063209 2012.11.02
- 国际公布： WO2013/067283 EN 2013.05.10
- 进入国家日期： 2014-07-01
- 主分类号： C01B33/107
- IPC分类号： C01B33/107 ; B01D3/14
摘要：
本发明公开了用于从包含三氯硅烷的组合物中除去含硼污染物以形成包含三氯硅烷的纯化产物的系统及方法。具有不同入口及出口位置的纯化塔及装置彼此流体相连以移除TCS中存在的不同类型的硼物质及其它杂质。
公开/授权文献
- CN104080735A 三氯硅烷的纯化 公开/授权日：2014-10-01
