本发明公开了一种钛丝材退火处理的方法，钛丝材的退火在退火装置中进行，该装置包括：壳体（1）；冷却部（2）；石英管（3），在该石英管（3）上的进气口（31）、出气口（32）；输送通道（4）；感应线圈（5）；其中，通过所述石英管（3）上设置的进气口（31）和出气口（32）向石英管3中导入惰性气体的条件下，使钛丝材通过输送通道（4），在钛丝材通过所述石英管（3）过程中，通过感应线圈（5）对所述钛丝材进行加热，使钛丝材的温度控制在500-900℃，且所述钛丝材通过输送通道（4）的速度为0.2m/min～1.5m/min。通过使用本发明的钛丝材退火处理的方法，能够减少工序、提高效率。