- 专利标题: BCD工艺中的隔离型齐纳二极管及其制造方法
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申请号: CN201310058886.0申请日: 2013-02-25
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公开(公告)号: CN104009098B公开(公告)日: 2016-11-09
- 发明人: 刘冬华 , 石晶 , 段文婷 , 胡君 , 钱文生
- 申请人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L29/866
- IPC分类号: H01L29/866 ; H01L29/06 ; H01L21/329 ; H01L21/265
摘要:
本发明公开了一种BCD工艺中的隔离型齐纳二极管,包括N型深阱,形成于半导体衬底上并用于实现隔离型齐纳二极管的隔离;P型区,包括叠加而成的高压P阱、P阱和P型基区;N型区,由形成于P型区表面上的N型源漏注入区组成,N型区底部和P型区接触并形成隔离型齐纳二极管的PN结;P型引出区,由形成于P型区表面上的N型源漏注入区组成;低压N阱,形成于N型深阱中并位于P型区外部,在低压N阱表面形成有由N型源漏注入区组成的N型深阱引出区。本发明还公开了一种BCD工艺中的隔离型齐纳二极管的制造方法。本发明器件工艺能够和BCD工艺良好的集成,不仅能够降低工艺成本,还能使整个集成电路的系统性能和可靠性得到提高。
公开/授权文献
- CN104009098A BCD工艺中的隔离型齐纳二极管及其制造方法 公开/授权日:2014-08-27
IPC分类: