发明授权
- 专利标题: 半导体器件及其制造方法
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申请号: CN201310050123.1申请日: 2013-02-08
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公开(公告)号: CN103985754B公开(公告)日: 2018-09-04
- 发明人: 朱慧珑
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 蔡纯
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336
摘要:
公开了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:半导体衬底;半导体衬底中的阱区;位于阱区上的夹层结构,该夹层结构包括背栅导体、位于背栅导体两侧的半导体鳍片、以及将背栅导体与半导体鳍片分别隔开的各自的背栅电介质,其中阱区作为背栅导体的导电路径的一部分;位于半导体鳍片下部的穿通阻止层;与半导体鳍片相交的前栅堆叠,该前栅堆叠包括前栅电介质和前栅导体,并且前栅电介质将前栅导体和半导体鳍片隔开;以及与半导体鳍片提供的沟道区相连的源区和漏区。该半导体器件可以实现高集成度和低功耗。
公开/授权文献
- CN103985754A 半导体器件及其制造方法 公开/授权日:2014-08-13
IPC分类: