Invention Publication
- Patent Title: 用于密封环结构的方法和装置
- Patent Title (English): Method And Apparatus For A Seal Ring Structure
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Application No.: CN201310162964.1Application Date: 2013-05-06
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Publication No.: CN103964365APublication Date: 2014-08-06
- Inventor: 简廷颖 , 邱义勋 , 苏钦豪 , 倪其聪
- Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹
- Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹
- Agency: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- Agent 章社杲; 孙征
- Priority: 13/759,549 2013.02.05 US
- Main IPC: B81B7/00
- IPC: B81B7/00 ; B81C1/00 ; H01L23/31

Abstract:
公开了用于密封环结构的方法和装置。可以在第一晶圆和/或第二晶圆上形成晶圆密封环。在第一晶圆和/或第二晶圆中的一个或两个上可以形成有一个或多个管芯。晶圆密封环可以围绕对应的晶圆的管芯形成。一个或多个管芯密封环可以围绕一个或多个管芯形成。晶圆密封环可以形成为高度可以约等于在第一晶圆和/或第二晶圆上形成的一个或多个管芯密封环的高度。可以形成晶圆密封环以实现共晶或者熔融接合工艺。可以将第一晶圆和第二晶圆接合在一起以在第一晶圆和第二晶圆之间形成密封环结构。密封环结构可以在第一晶圆和第二晶圆之间提供密封。
Public/Granted literature
- CN103964365B 用于密封环结构的方法和装置 Public/Granted day:2017-03-01
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