增加发光效率的LED外延层生长方法及LED外延层
摘要:
本发明提供了一种增加发光效率的LED外延层生长方法及LED外延层,生长有源层MQW步骤为:生长InxGa1‑xN层和AlyGaN层,其中x=0.15‑0.25,y=0.10‑0.15,InxGa1‑xN/AlyGa1‑yN周期数为5‑6;然后再生长InxGa1‑xN层和InyGa1‑yN,其中y=0.05‑0.10,InxGa1‑xN/InyGa1‑yN的周期数为5‑6。将发光层量子阱垒层由原来的InGaN/GaN超晶格材料设计为第一InGaN/AlGaN超晶格和第一InGaN/第二InGaN超晶格的组合,提高电子和空穴在量子阱中的浓度,增加器件发光效率。
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