回流膜、焊料凸块形成方法、焊料接合的形成方法以及半导体装置
摘要:
本发明涉及一种回流膜,其特征在于,其为包含能够溶解于溶剂的热塑性树脂和焊料粒子的膜,所述焊料粒子为分散在所述膜中的状态;还涉及一种焊料凸块形成方法,包含如下工序:(A)在基板的电极面侧放置所述回流膜的工序、(B)进一步放置并固定平板的工序、(C)加热工序、以及(D)溶解除去所述回流膜的工序。据此提供一种回流膜,使焊料成分通过自组织化偏集在基板的电极上,从而保存性、运输性、以及使用时的操作性优异,能够仅对电极选择性地形成焊料凸块或者焊料接合。
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