包括半导体二极管的晶体管单元阵列
摘要:
包括半导体二极管的晶体管单元阵列。半导体装置的一个实施例包括密集沟槽晶体管单元阵列。密集沟槽晶体管单元阵列包括在半导体本体中的多个晶体管单元。多个晶体管单元中的每个的晶体管台面区域的宽度w3和多个晶体管单元的每个的第一沟槽的宽度w1满足下面的关系:w3
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