- 专利标题： 复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件
-
申请号： CN201380001900.1申请日： 2013-07-19
-
公开(公告)号： CN103814160B公开(公告)日： 2018-09-14
- 发明人: 仓冈义孝 , 岩井真
- 申请人： 日本碍子株式会社
- 申请人地址： 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
- 专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
- 代理机构： 上海市华诚律师事务所
- 代理商 李晓
- 优先权： 2012-190532 2012.08.30 JP
- 国际申请： PCT/JP2013/070264 2013.07.19
- 国际公布： WO2014/034338 JA 2014.03.06
- 进入国家日期： 2013-12-27
- 主分类号： C30B29/38
- IPC分类号： C30B29/38 ; C30B19/12 ; H01L21/208
摘要：
一种复合基板10，包含蓝宝石基板1A、设置于蓝宝石基板表面的氮化镓晶体构成的晶种膜4、以及在该晶种膜4上结晶生长的厚度200μm以下的氮化镓晶体层7。蓝宝石基板1A与晶种膜4的界面设置有空隙5，该空隙比率为4.5～12.5％。
公开/授权文献
- CN103814160A 复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件 公开/授权日：2014-05-21
IPC分类:
