薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
Abstract:
本发明提供了薄膜晶体管阵列面板及其制造方法。该薄膜晶体管阵列面板包括:基板;栅线,每条栅线包括栅极垫;栅绝缘层;数据线和漏电极,每条数据线包括连接到源电极的数据垫;第一钝化层,设置在数据线和漏电极上;第一电场产生电极;第二钝化层,设置在第一电场产生电极上;以及第二电场产生电极。栅绝缘层、第一钝化层和第二钝化层包括暴露部分栅极垫的第一接触孔,第一钝化层和第二钝化层包括暴露部分数据垫的第二接触孔,第一接触孔和第二接触孔中的至少一个具有正锥形结构,该正锥形结构在上侧具有比下侧更宽的区域。
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