图案形成装置和方法以及制造形成有图案的基板的方法
摘要:
图案形成装置包括:激光照射设备,其配置成发射激光光束并引导其通过基板中形成的孔的开口部分进入孔;具有反射表面的光反射设备,反射表面配置成反射激光以使用所反射的激光照射孔的内表面,反射表面布置在孔的底部以面向开口部分;液滴喷射设备,其配置成将导电油墨的液滴喷射并沉积到孔中;以及控制设备,其配置成控制激光照射设备以使用反射表面上反射的激光来照射孔的内表面并对其进行改性,并且控制液滴喷射设备以将导电油墨的液滴喷射并沉积到内表面已经被改性的孔中。
0/0