发明公开
CN103766013A 图案形成装置和方法以及制造形成有图案的基板的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 图案形成装置和方法以及制造形成有图案的基板的方法
- 专利标题(英): Pattern forming apparatus and method, and method of manufacturing substrate formed with pattern
-
申请号: CN201280042240.7申请日: 2012-08-27
-
公开(公告)号: CN103766013A公开(公告)日: 2014-04-30
- 发明人: 儿玉淳
- 申请人: 富士胶片株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 富士胶片株式会社
- 当前专利权人: 富士胶片株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈松涛; 韩宏
- 优先权: 2011-186300 2011.08.29 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/072276 2012.08.27
- 国际公布: WO2013/031994 EN 2013.03.07
- 进入国家日期: 2014-02-28
- 主分类号: H05K3/40
- IPC分类号: H05K3/40 ; H01L21/28 ; H01L21/288 ; H01L21/768 ; H05K1/11 ; H05K3/00 ; H05K3/10
摘要:
图案形成装置包括:激光照射设备,其配置成发射激光光束并引导其通过基板中形成的孔的开口部分进入孔;具有反射表面的光反射设备,反射表面配置成反射激光以使用所反射的激光照射孔的内表面,反射表面布置在孔的底部以面向开口部分;液滴喷射设备,其配置成将导电油墨的液滴喷射并沉积到孔中;以及控制设备,其配置成控制激光照射设备以使用反射表面上反射的激光来照射孔的内表面并对其进行改性,并且控制液滴喷射设备以将导电油墨的液滴喷射并沉积到内表面已经被改性的孔中。
公开/授权文献
- CN103766013B 图案形成装置和方法以及制造形成有图案的基板的方法 公开/授权日:2016-10-05