- 专利标题: 可调带隙量子阱结构的不锈钢衬底太阳能电池及制备方法
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申请号: CN201310746388.5申请日: 2013-12-30
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公开(公告)号: CN103746016B公开(公告)日: 2016-03-09
- 发明人: 张铁岩 , 张东 , 鞠振河 , 赵琰 , 李昱材 , 宋世巍 , 王健 , 王刚 , 边继明 , 刘宝丹
- 申请人: 沈阳工程学院
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号
- 专利权人: 沈阳工程学院
- 当前专利权人: 沈阳工程学院
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号
- 代理机构: 沈阳东大知识产权代理有限公司
- 代理商 梁焱
- 主分类号: H01L31/0352
- IPC分类号: H01L31/0352 ; H01L31/0392 ; H01L31/075 ; H01L31/18 ; H01L31/0224
摘要:
本发明属于柔性太阳能电池制造技术领域,特别涉及一种可调带隙量子阱结构的不锈钢衬底太阳能电池及制备方法。本发明的太阳能电池具体结构是:Al电极/GZO/P型InxGa1-xN/I层本征nc-Si:H/N型nc-Si:H/GZO/Al背电极/AlN绝缘层/柔性不锈钢衬底,其制备方法是首先磁控溅射制备AlN绝缘层和Al背电极,然后采用ECR-PEMOCVD依次沉积GZO基透明导电薄膜、N型nc-Si:H薄膜、I层本征nc-Si:H薄膜、P型InxGa1-xN薄膜、GZO薄膜,最后制备金属Al电极。本发明的可调带隙量子阱结构的不锈钢衬底太阳能电池具有优异的柔软性,重量轻,携带方便,具有产业化潜力和市场空间,而且制备工艺简单,能实现规模生产。
公开/授权文献
- CN103746016A 可调带隙量子阱结构的不锈钢衬底太阳能电池及制备方法 公开/授权日:2014-04-23
IPC分类: