Invention Publication
CN103682102A 一种石墨烯场效应光晶体管及其制造方法
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- Patent Title: 一种石墨烯场效应光晶体管及其制造方法
- Patent Title (English): Graphene field effect opto-transistor and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201310580448.0Application Date: 2013-11-19
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Publication No.: CN103682102APublication Date: 2014-03-26
- Inventor: 林时胜 , 李文渊 , 张金石
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Agency: 杭州求是专利事务所有限公司
- Agent 韩介梅
- Main IPC: H01L51/42
- IPC: H01L51/42 ; H01L51/44 ; H01L51/46 ; H01L51/48

Abstract:
本发明公开的石墨烯场效应光晶体管自下而上依次有Si层和SiO2层的Si/SiO2复合晶片、n层石墨烯层,n=1-2、两块在同一水平面上彼此相隔的金电极、在两块金电极之间有CdSe量子点层,CdSe量子点层中的CdSe量子点的直径为3-8nm。其制造步骤包括:将用胶带从石墨烯晶体上剥离的石墨烯层黏贴到清洗干净的Si/SiO2复合晶片上;在石墨烯层上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯,用电子束曝光法在涂层上刻蚀出金电极;用电子束蒸发方法在电极上依次沉积Ni和Au作为源极和漏极,制备CdSe量子点溶液;将CdSe量子点溶液涂覆到二块金电极之间的石墨烯层上。本发明为场效应光晶体管提供了一种新品种。
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