一种石墨烯场效应光晶体管及其制造方法
Abstract:
本发明公开的石墨烯场效应光晶体管自下而上依次有Si层和SiO2层的Si/SiO2复合晶片、n层石墨烯层,n=1-2、两块在同一水平面上彼此相隔的金电极、在两块金电极之间有CdSe量子点层,CdSe量子点层中的CdSe量子点的直径为3-8nm。其制造步骤包括:将用胶带从石墨烯晶体上剥离的石墨烯层黏贴到清洗干净的Si/SiO2复合晶片上;在石墨烯层上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯,用电子束曝光法在涂层上刻蚀出金电极;用电子束蒸发方法在电极上依次沉积Ni和Au作为源极和漏极,制备CdSe量子点溶液;将CdSe量子点溶液涂覆到二块金电极之间的石墨烯层上。本发明为场效应光晶体管提供了一种新品种。
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