发明授权
- 专利标题: 用于产生可控半导体元件的方法
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申请号: CN201310417159.9申请日: 2013-09-13
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公开(公告)号: CN103681354B公开(公告)日: 2016-08-17
- 发明人: A.迈泽尔 , M.聪德尔
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 蒋骏; 王忠忠
- 优先权: 13/614076 2012.09.13 US
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/331 ; H01L21/337
摘要:
本发明公开的是一种用于产生可控半导体元件的方法。在具有顶侧和底侧的半导体本体中,在共同的蚀刻过程中形成从顶侧突出到半导体本体中的第一沟槽和从顶侧突出到半导体本体中的第二沟槽。第一沟槽具有第一宽度,且第二沟槽具有大于第一宽度的第二宽度。然后,在共同的过程中,将氧化物层形成在第一沟槽和第二沟槽中,使得氧化物层填充第一沟槽,并使第二沟槽的表面电绝缘。随后,从第一沟槽完全或至少部分地去除氧化物层,使得半导体本体包括布置于第一沟槽中的暴露的第一表面区域。
公开/授权文献
- CN103681354A 用于产生可控半导体元件的方法 公开/授权日:2014-03-26
IPC分类: