一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法
摘要:
本发明公开了一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法,包括以下几个步骤:(1)根据残靶的溅射跑道,在所述残靶的冲蚀曲面内使用线切割机线切割残靶,得到多片拼接靶材;切割线的选取方法为:选择宽度垂直线,所述切割线与宽度垂直线的夹角在0~30°之间,所述宽度垂直线在残靶使用最深处且与残靶的宽度方向垂直;(2)对每个所述拼接靶材进行清洁;(3)将清洁后的拼接靶材拼接在一起,并将拼接后的靶材与背板焊合,焊合后再次装机进行溅射镀膜。本发明将磁控溅射镀膜用靶材的使用率提高至40%,同时,降低了生产成本,减少了资源浪费,本发明尤其适用于贵重金属和氧化物靶材。
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