Invention Grant

研磨方法
Abstract:
本发明提供一种研磨方法,能够在晶片的边缘部形成光滑的垂直面。本发明的研磨方法,使晶片(W)旋转,进行第一研磨工序:在使研磨带(38)的一部分从推压垫(51)朝晶片(W)的半径方向内侧突出的状态下,通过推压垫(51)将研磨带(38)相对于晶片(W)的边缘部推抵而对该晶片(W)的边缘部进行研磨,并且将研磨带(38)的一部分沿推压垫(51)折弯;将折弯的研磨带(38)的一部分通过推压垫(51)朝晶片(W)的半径方向内侧推压,由此进行以研磨带(38)对晶片(W)的边缘部进一步研磨的第二研磨工序。
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