Invention Grant
- Patent Title: 研磨方法
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Application No.: CN201310444560.1Application Date: 2013-09-23
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Publication No.: CN103659534BPublication Date: 2018-11-06
- Inventor: 户川哲二 , 吉田笃史 , 山下道义
- Applicant: 株式会社荏原制作所
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee: 株式会社荏原制作所
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 陈伟; 展馨
- Priority: 2012-209500 2012.09.24 JP
- Main IPC: B24B21/06
- IPC: B24B21/06

Abstract:
本发明提供一种研磨方法,能够在晶片的边缘部形成光滑的垂直面。本发明的研磨方法,使晶片(W)旋转,进行第一研磨工序:在使研磨带(38)的一部分从推压垫(51)朝晶片(W)的半径方向内侧突出的状态下,通过推压垫(51)将研磨带(38)相对于晶片(W)的边缘部推抵而对该晶片(W)的边缘部进行研磨,并且将研磨带(38)的一部分沿推压垫(51)折弯;将折弯的研磨带(38)的一部分通过推压垫(51)朝晶片(W)的半径方向内侧推压,由此进行以研磨带(38)对晶片(W)的边缘部进一步研磨的第二研磨工序。
Public/Granted literature
- CN103659534A 研磨方法 Public/Granted day:2014-03-26
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