发明授权
CN103586093B 一种微流控芯片及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种微流控芯片及其制作方法
- 专利标题(英): Microfluidic chip and manufacturing method thereof
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申请号: CN201310571537.9申请日: 2013-11-13
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公开(公告)号: CN103586093B公开(公告)日: 2015-07-01
- 发明人: 梁福鹏 , 陆祖宏 , 封海清 , 涂景
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市四牌楼2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市四牌楼2号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 张学彪
- 主分类号: B01L3/00
- IPC分类号: B01L3/00
摘要:
本发明公开了一种微流控芯片,包括基片、包裹层、隔离层和流道,基片1上设置有牺牲层,牺牲层上设置有贯通牺牲层并深入基片内部的沟道,牺牲层上覆盖包裹层,沟道内设置有隔离层,隔离层将牺牲层划分成不同的区域,基片和/或包裹层上设置有连通外界和牺牲层的通道,牺牲层被腐蚀或溶解后得到流道。本发明还公开了上述微流控芯片的制作方法。本发明的微流控芯片,容易制作,成品率高,成本低廉、对基片表面的平整度要求低。通过在基片上设置有牺牲层,方便通过控制牺牲层的厚度控制流道的深度,通过在牺牲层上生成沟道,并在沟道中设置隔离层,隔离层将牺牲层隔离成不同区域,方便产生形状可控的复杂流道。
公开/授权文献
- CN103586093A 一种微流控芯片及其制作方法 公开/授权日:2014-02-19
IPC分类: