• Patent Title: 具有穿透衬底互连的半导体构造以及形成穿透衬底互连的方法
  • Patent Title (English): Semiconductor constructions having through-substrate interconnects, and methods of forming through-substrate interconnects
  • Application No.: CN201280027691.3
    Application Date: 2012-05-03
  • Publication No.: CN103582933A
    Publication Date: 2014-02-12
  • Inventor: 艾伦·G·伍德菲利普·J·爱尔兰
  • Applicant: 美光科技公司
  • Applicant Address: 美国爱达荷州
  • Assignee: 美光科技公司
  • Current Assignee: 美光科技公司
  • Current Assignee Address: 美国爱达荷州
  • Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
  • Agent 孙宝成
  • Priority: 13/154,132 2011.06.06 US
  • International Application: PCT/US2012/036401 2012.05.03
  • International Announcement: WO2012/170129 EN 2012.12.13
  • Date entered country: 2013-12-05
  • Main IPC: H01L21/28
  • IPC: H01L21/28 H01L21/768
具有穿透衬底互连的半导体构造以及形成穿透衬底互连的方法
Abstract:
一些实施例包含形成穿过半导体衬底的互连的方法。开口可经形成以部分地延伸穿过半导体衬底,且互连的部分可形成于所述开口内。另一开口可经形成以从所述衬底的第二侧延伸到所述互连的第一部分,且所述互连的另一部分可形成于此开口内。一些实施例包含半导体构造,其具有:穿透衬底互连的第一部分,其从所述衬底的第一侧部分地延伸穿过半导体衬底;及所述穿透衬底互连的第二部分,其从所述衬底的第二侧延伸且具有全部延伸到所述互连的所述第一部分的多个单独导电指状部。
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