Invention Publication
- Patent Title: 减振装置
- Patent Title (English): Vibration reduction device
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Application No.: CN201210276067.9Application Date: 2012-08-03
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Publication No.: CN103573894APublication Date: 2014-02-12
- Inventor: 郭耸 , 王保亮
- Applicant: 上海微电子装备有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
- Assignee: 上海微电子装备有限公司
- Current Assignee: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 屈蘅; 李时云
- Main IPC: F16F3/00
- IPC: F16F3/00

Abstract:
一种减振装置,包括:第一硬弹性层、第二硬弹性层,以及第三硬弹性层,所述硬弹性层至下而上纵向排布并间隔设置;第一弹性层,设置在所述第一硬弹性层和所述第二硬弹性层之间;第二弹性层,设置在所述第二硬弹性层和所述第三硬弹性层之间;第三弹性层,设置在所述第二硬弹性层上并位于所述第三硬弹性层外围;以及第四弹性层、第五弹性层,所述第四弹性层、第五弹性层设置在所述第一硬弹性层和所述第三硬弹性层之间。本发明所述减振装置通过将所述第一弹性层与所述第二弹性层串联设置,并设置第三弹性层、第四弹性层和第五弹性层,即加强了减振效果又降低了对橡胶减振器的性能要求,从而降低了成本,并在X方向和Y方向起到明显的缓冲、减振效果。
Public/Granted literature
- CN103573894B 减振装置 Public/Granted day:2016-06-01
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