发明公开
CN103531536A 部件以及使用超薄载体制造部件的方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 部件以及使用超薄载体制造部件的方法
- 专利标题(英): Component and method of manufacturing a component using an ultrathin carrier
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申请号: CN201310280719.0申请日: 2013-07-05
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公开(公告)号: CN103531536A公开(公告)日: 2014-01-22
- 发明人: K.迈尔 , E.纳佩施尼希 , M.平措利茨 , M.勒斯纳 , M.斯特纳
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 马红梅; 刘春元
- 优先权: 13/542,655 2012.07.05 US
- 主分类号: H01L21/78
- IPC分类号: H01L21/78 ; H01L23/31
摘要:
本发明涉及部件以及使用超薄载体制造部件的方法。公开了一种用于制造封装部件的系统和方法。实施例包括:在载体上形成多个部件,所述多个部件通过所述载体的正侧上的切口区域而与彼此分离;以及在所述载体的背侧上形成金属图案,其中,所述金属图案覆盖所述载体的除与所述切口区域相对应的区域之上外的背侧。所述方法进一步包括通过分离所述载体来生成所述部件。
IPC分类: