发明公开
- 专利标题: 芯片承载基板结构的制作方法
- 专利标题(英): Manufacturing method for chip-bearing substrate structure
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申请号: CN201210233005.X申请日: 2012-07-06
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公开(公告)号: CN103531484A公开(公告)日: 2014-01-22
- 发明人: 林定皓 , 吕育德 , 卢德豪
- 申请人: 景硕科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾桃园县新屋乡石磊村中华路1245号
- 专利权人: 景硕科技股份有限公司
- 当前专利权人: 景硕科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾桃园县新屋乡石磊村中华路1245号
- 代理机构: 北京华夏博通专利事务所
- 代理商 刘俊
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明提供了一种芯片承载基板结构的制作方法,包含金属基底结构制作步骤、光阻图案层形成步骤、蚀刻步骤、光阻图案层去除步骤、绝缘材料层压合步骤、刷磨步骤、线路层制作步骤以及防焊层制作步骤,金属基底结构制作步骤是制作出两个金属基底层具有一阻隔层的复层结构,在蚀刻步骤中能有效地控制蚀刻深度,使得每一位置及每一次形成的凸块结构的形状以及深度都相同,而能广泛的应用于量产的制程中,并且有效解决现有技术因为深度不相同,所导致的偏移、位置无法恒定及脱层的问题。
公开/授权文献
- CN103531484B 芯片承载基板结构的制作方法 公开/授权日:2016-12-21
IPC分类: