发明授权
- 专利标题: 瞬态电压抑制器及其制造方法
-
申请号: CN201210161049.6申请日: 2012-05-18
-
公开(公告)号: CN103426879B公开(公告)日: 2016-02-10
- 发明人: 段文婷 , 刘冬华 , 石晶 , 钱文生 , 胡君
- 申请人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L21/822
摘要:
本发明公开了一种瞬态电压抑制器,包括:N型半导体衬底以及形成于N型半导体衬底上的P型外延层。齐纳二极管由形成于N型半导体衬底的表面的P+埋层和该P+埋层底部的N型半导体衬底组成。在P+埋层的正上方的P型外延层表面形成有一N+区,N+区和其底部的P型外延层组成上二极管。在和上二极管相隔一横向距离的P型外延层表面形成有一P+区,P+区和其底部的P型外延层和N型半导体衬底组成下二极管。本发明还公开了一种瞬态电压抑制器的制造方法。本发明的衬底的N型杂质在工艺的热处理过程中不易扩散,不会造成由于衬底的杂质扩散到外延层中而使外延层的厚度消耗掉的缺陷,能减少形成器件所需的外延层的厚度,降低工艺成本。
公开/授权文献
- CN103426879A 瞬态电压抑制器及其制造方法 公开/授权日:2013-12-04
IPC分类: