一种积累氦质谱粗漏细漏组合检测元器件密封性的方法
Abstract:
本发明公开了一种积累氦质谱粗漏细漏组合检测元器件密封性的方法,给出了根据被检件的严密等级τHemin、内腔容积、表面吸附氦漏率以及检漏历史,选择相应压氦预充氦方式并选择固定或灵活方案,选择粗漏检测测量漏率判据的方法;定量设计细漏检测最长检测时间和测量漏率判据的方法;实施组合检测的程序,包括去除吸附氦,确定粗漏检测的开始取值时间和最长检测时间,确定开始细漏积累检测的时间,及补充检测更大粗漏的要求。本发明的有益效果为:既可以避免组合检测过程的粗漏漏检,又可以在大部分内腔容积范围增大最长候检时间,从而使吸附漏率的去除能满足细漏检测测量漏率判据要求,使积累氦质谱粗漏细漏组合检测更具适用性和可操作性。
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