电容式硅麦克风的制备方法
摘要:
本发明涉及一种电容式硅麦克风的制备方法,包括:提供一衬底,其上设有一电路区域,电路区域至少包括垂直分布的一钝化层、一器件组和一介质层,钝化层为电路区域表面层,介质层设置于钝化层下方,器件组埋设于钝化层底部,其包括第一器件和第二器件;在电路区域沉积一牺牲层;对牺牲层图案化以定义出空气隙区域;在电路区域之上沉积一金属层,并使金属层与第二器件相连;以图案化方法形成至少一释放孔,释放孔贯通金属层;以金属层为掩膜,刻蚀牺牲层、钝化层与介质层形成与释放孔位置一一对应的通气孔;对电路区域进行刻蚀,去除牺牲层以形成空气隙,并继续刻蚀至衬底中以形成气腔。其工艺流程简单,生产成本低。
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