发明授权
- 专利标题: 电容式硅麦克风的制备方法
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申请号: CN201310312152.0申请日: 2013-07-23
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公开(公告)号: CN103369452B公开(公告)日: 2018-05-29
- 发明人: 王伟军 , 康晓旭 , 陈燕
- 申请人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 林彦之
- 主分类号: H04R31/00
- IPC分类号: H04R31/00
摘要:
本发明涉及一种电容式硅麦克风的制备方法,包括:提供一衬底,其上设有一电路区域,电路区域至少包括垂直分布的一钝化层、一器件组和一介质层,钝化层为电路区域表面层,介质层设置于钝化层下方,器件组埋设于钝化层底部,其包括第一器件和第二器件;在电路区域沉积一牺牲层;对牺牲层图案化以定义出空气隙区域;在电路区域之上沉积一金属层,并使金属层与第二器件相连;以图案化方法形成至少一释放孔,释放孔贯通金属层;以金属层为掩膜,刻蚀牺牲层、钝化层与介质层形成与释放孔位置一一对应的通气孔;对电路区域进行刻蚀,去除牺牲层以形成空气隙,并继续刻蚀至衬底中以形成气腔。其工艺流程简单,生产成本低。
公开/授权文献
- CN103369452A 电容式硅麦克风的制备方法 公开/授权日:2013-10-23