发明授权
- 专利标题: 一种用于激光光源的液态金属靶产生装置
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申请号: CN201310182436.2申请日: 2013-05-16
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公开(公告)号: CN103281855B公开(公告)日: 2015-10-14
- 发明人: 王宇 , 张罗莎 , 吴晓斌 , 陈进新 , 王魁波 , 罗艳 , 谢婉露
- 申请人: 中国科学院光电研究院
- 申请人地址: 北京市海淀区邓庄南路9号
- 专利权人: 中国科学院光电研究院
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区邓庄南路9号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋焰琴
- 主分类号: H05G2/00
- IPC分类号: H05G2/00 ; G03F7/20
摘要:
本发明公开了一种液态金属靶产生装置,其能够产生用于等离子激发的金属液滴,该装置包括:用于存储液态金属靶材料的储液箱,储液箱的底端与一个导管相连通;腔体,位于所述储液箱的下方,使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部,以至于所述储液箱内的液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部;转轮,呈圆柱体形且能绕其中心轴转动,且该中心轴与该导管垂直,并且,该转轮与导管对准,以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面,并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本发明能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径,保证发光稳定性,有效控制发光过程中的系统污染。
公开/授权文献
- CN103281855A 一种用于激光光源的液态金属靶产生装置 公开/授权日:2013-09-04