分散有C粒子的Fe-Pt型溅射靶
摘要:
一种溅射靶,其为原子数的组成比由式(Fe100‑X‑PtX)100‑A‑CA(其中,A为满足20≤A≤50的数,X为满足35≤X≤55的数)表示的烧结体溅射靶,其特征在于,具有微细分散在合金中的C粒子,并且相对密度为90%以上。本发明的课题在于提供可以在不使用高价的同时溅射装置的情况下制作颗粒结构磁性薄膜、并且使溅射时产生的粉粒减少的、高密度的溅射靶。
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