一种集成电路芯片ESD防护用LDMOSSCR器件
摘要:
一种集成电路芯片ESD防护用LDMOS SCR器件,属于电子技术领域。本发明在传统集成电路芯片ESD防护用LDMOS SCR结构基础上集成一个低压MOS器件,通过所述低压MOS器件来限制内嵌SCR阳极注入的空穴电流,从而提高维持电压Vhold值,提高了器件在高压应用中的闩锁免疫能力;而且该新型结构相比于普通LDMOS器件而言,由于集成了SCR器件,其抗ESD能力得到增强;同时,本发明与Bipolar CMOS DMOS工艺兼容。
公开/授权文献
0/0