发明授权
CN103258814B 一种集成电路芯片ESD防护用LDMOSSCR器件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种集成电路芯片ESD防护用LDMOSSCR器件
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申请号: CN201310179910.6申请日: 2013-05-15
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公开(公告)号: CN103258814B公开(公告)日: 2015-07-29
- 发明人: 张波 , 樊航 , 曲黎明 , 盛玉荣 , 蒋苓利
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都宏顺专利代理事务所
- 代理商 李顺德; 王睿
- 主分类号: H01L23/60
- IPC分类号: H01L23/60 ; H01L27/07 ; H01L29/78
摘要:
一种集成电路芯片ESD防护用LDMOS SCR器件,属于电子技术领域。本发明在传统集成电路芯片ESD防护用LDMOS SCR结构基础上集成一个低压MOS器件,通过所述低压MOS器件来限制内嵌SCR阳极注入的空穴电流,从而提高维持电压Vhold值,提高了器件在高压应用中的闩锁免疫能力;而且该新型结构相比于普通LDMOS器件而言,由于集成了SCR器件,其抗ESD能力得到增强;同时,本发明与Bipolar CMOS DMOS工艺兼容。
公开/授权文献
- CN103258814A 一种集成电路芯片ESD防护用LDMOSSCR器件 公开/授权日:2013-08-21
IPC分类: