本发明所提供的是一种太阳能光热转换薄膜的膜系结构的制备方法，所述膜系结构，是在金属膜系基的表面，由内至外依次是Cu红外反射膜层、TiN热扩散阻挡保护膜层，高金属含量的（Ti-Cr）NO选择性吸收膜层，低金属含量的（Ti-Cr）NO选择性吸收膜层和含少量Al2O3的SiO2减反射膜层，具有结构合理，耐高温性能好，吸收率高，反射率低，耐候性能好等特点，而所述制备方法依次是，膜系基前处理，镀制Cu红外反射膜层，镀制TiN热扩散阻挡保护膜层，镀制高金属含量的（Ti-Cr）NO吸收膜层，镀制低金属含量的（Ti-Cr）NO吸收膜层，镀制SiO2-Al2O3减反射膜层，具有方法合理，镀制速率高、镀层品质好等特点，是一种特别适合于工业化连续生产平板型太阳能集热器集热板芯镀膜的制备方法。