发明授权
CN103219252B 条状部件的去毛边方法及装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 条状部件的去毛边方法及装置
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申请号: CN201210162297.2申请日: 2012-05-23
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公开(公告)号: CN103219252B公开(公告)日: 2015-09-30
- 发明人: 郑载松 , 全保圭
- 申请人: 亚斯杰特股份有限公司
- 申请人地址: 韩国仁川广域市
- 专利权人: 亚斯杰特股份有限公司
- 当前专利权人: 亚斯杰特股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国仁川广域市
- 代理机构: 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 王凤桐; 周建秋
- 优先权: 10-2012-0006462 2012.01.20 KR
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/67
摘要:
本发明关于一种条状部件的去毛边方法及装置,且特别是关于一种具有下述特征的条状零件的去毛边方法及装置,该方法针对电镀处理过程的前后所进行的电解去毛边步骤,在电解去毛边步骤前或在电解去毛边步骤中,增加将化学溶液以喷射流的形式对条状零件的表面进行加压的步骤,来改善电解去毛边步骤的效率。
公开/授权文献
- CN103219252A 条状部件的去毛边方法及装置 公开/授权日:2013-07-24
IPC分类: