一种LED外延片生长方法
摘要:
一种LED外延片生长方法,在生长N型掺杂Si的GaN层时,采用掺杂Si的N型GaN层和不掺杂Si的U型GaN层交替生长方法。该生长方法保持原来N型GaN层的厚度,将传统生长方法持续生长的掺杂Si的GaN层改进为生长掺杂Si的N型GaN层和不掺杂Si的U型GaN层构成的交替结构层,在一定程度上节约掺杂剂的用量。并且,在生长掺杂Si的GaN层和不掺杂Si的GaN层的交替结构中,掺杂Si的GaN层为低电阻值,而不掺杂Si的GaN层为高电阻值,高、低电阻值N型GaN层在电流输送过程中,使得电子横向扩展能力加强,从而降低了驱动电压,同时提升了亮度和光效。
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