发明公开
- 专利标题: 一种LED外延片生长方法
- 专利标题(英): Growth method of light-emitting diode (LED) epitaxial wafer
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申请号: CN201210563126.0申请日: 2012-12-21
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公开(公告)号: CN103107255A公开(公告)日: 2013-05-15
- 发明人: 苗振林 , 张宇 , 牛凤娟
- 申请人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人: 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 代理机构: 北京聿宏知识产权代理有限公司
- 代理商 吴大建; 刘华联
- 主分类号: H01L33/14
- IPC分类号: H01L33/14 ; H01L33/00
摘要:
一种LED外延片生长方法,在生长N型掺杂Si的GaN层时,采用掺杂Si的N型GaN层和不掺杂Si的U型GaN层交替生长方法。该生长方法保持原来N型GaN层的厚度,将传统生长方法持续生长的掺杂Si的GaN层改进为生长掺杂Si的N型GaN层和不掺杂Si的U型GaN层构成的交替结构层,在一定程度上节约掺杂剂的用量。并且,在生长掺杂Si的GaN层和不掺杂Si的GaN层的交替结构中,掺杂Si的GaN层为低电阻值,而不掺杂Si的GaN层为高电阻值,高、低电阻值N型GaN层在电流输送过程中,使得电子横向扩展能力加强,从而降低了驱动电压,同时提升了亮度和光效。
公开/授权文献
- CN103107255B 一种LED外延片生长方法 公开/授权日:2016-04-06
IPC分类: