Invention Publication
- Patent Title: 一种多晶硅的制备方法
- Patent Title (English): Polycrystalline silicon preparation method
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Application No.: CN201310044962.2Application Date: 2013-02-04
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Publication No.: CN103101912APublication Date: 2013-05-15
- Inventor: 李伟生 , 龚炳生 , 王晓艳
- Applicant: 福建兴朝阳硅材料股份有限公司
- Applicant Address: 福建省龙岩市上杭县南阳工业区
- Assignee: 福建兴朝阳硅材料股份有限公司
- Current Assignee: 福建兴朝阳硅材料股份有限公司
- Current Assignee Address: 福建省龙岩市上杭县南阳工业区
- Agency: 北京元中知识产权代理有限责任公司
- Agent 王彩霞
- Main IPC: C01B33/037
- IPC: C01B33/037

Abstract:
一种多晶硅的制备方法,包括如下步骤:硅液在抬包中吹气、NaCl、KCl与SiO2造渣剂、等离子体相结合精炼除硼杂质,其中,氧化性气体电离成等离子气体从抬包底部通入硅液中,持续通入等离子气体1~3h,在抬包内进行反应;反应完成之后经过处理得到低磷硼金属硅;将硅锭破碎、磨粉、酸洗,清洗,烘干;将酸洗后硅粉加热熔化成硅液,保温;石墨板放置于硅液的表面上,石墨板与石墨坩埚底部分别与外界直流电压的负、正极接,所施加的直流电压为10~100V;通电2~4h后,在通电状态下,石墨坩埚以0.10~0.15mm/min的速率下降,离开加热区,进行定向凝固,冷却后取出硅锭,切除上层杂质富集区,得到提纯后6N多晶硅。该方法去除硼、金属等杂质效果好、成本低、环保。
Public/Granted literature
- CN103101912B 一种多晶硅的制备方法 Public/Granted day:2014-07-09
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