一种多晶硅的制备方法
Abstract:
一种多晶硅的制备方法,包括如下步骤:硅液在抬包中吹气、NaCl、KCl与SiO2造渣剂、等离子体相结合精炼除硼杂质,其中,氧化性气体电离成等离子气体从抬包底部通入硅液中,持续通入等离子气体1~3h,在抬包内进行反应;反应完成之后经过处理得到低磷硼金属硅;将硅锭破碎、磨粉、酸洗,清洗,烘干;将酸洗后硅粉加热熔化成硅液,保温;石墨板放置于硅液的表面上,石墨板与石墨坩埚底部分别与外界直流电压的负、正极接,所施加的直流电压为10~100V;通电2~4h后,在通电状态下,石墨坩埚以0.10~0.15mm/min的速率下降,离开加热区,进行定向凝固,冷却后取出硅锭,切除上层杂质富集区,得到提纯后6N多晶硅。该方法去除硼、金属等杂质效果好、成本低、环保。
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