一种全自动晶粒检测分选一体设备
摘要:
本申请公开了一种全自动晶粒检测分选一体设备,本设备由晶圆工作台、分选工作台、检测工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、检测工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库,上述九个主要部分组成。本申请改善了现有技术中的传统布局与机械结构,通过运输传送系统和推送装置将盘片在工作台和芯片分选料库之间自如进出进行相应盘片的取放,同步实现了晶粒的检测和分选,同时运输传送系统具有两个缓冲区位置,能够减少待分选盘片与分选结束后的盘片以及待检测盘片与检测结束后的盘片之间的交换时间,进而加快晶粒分选和检测时间和效率。具有换片高效、整机小巧、结构紧凑、整机稳定性好、芯片分选料库可扩容性好的特点。
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