激光切割方法与装置
摘要:
本发明公开一种激光切割方法与装置,其用以切割具有相对的底面与顶面的加工件,在底面与顶面间平行于一轴向形成加工件厚度,由激光光源发出激光光线射向加工件,再由透镜将激光光线聚焦于加工件底面,再由激光光线于加工件底面形成第一改质轨迹,再平行于轴向至少改变一次激光光线的照射位置,于加工件形成至少一变焦聚焦点,变焦聚焦点的投影位置落于第一改质轨迹,再由激光光线于变焦聚焦点于加工件形成一变焦改质轨迹,变焦改质轨迹的投影位置与第一改质轨迹重叠,在第一改质轨迹与变焦改质轨迹之间形成一连续改质界面。
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