本发明提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用，所述共聚物由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成，其中，R1为O或HN，R2为碳原子数1-4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团（m表示1-3的正整数），n为1-4的正整数，通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z，并且x：y：z=3－8：1－4：1－5，所述共聚物的重均分子量为5000-20000。添加有该共聚物的彩色光阻剂能够提高感度。并且，该共聚物在碱性溶液中具有溶解性，所以，添加有该共聚物的彩色光阻剂具有良好的显影性。