用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器
摘要:
本文描述一种设备,所述设备可以包括:光学放大器,所述光学放大器具有包括波长λ1和λ2的增益带,其中λ1≠λ2;预脉冲种子激光器,所述预脉冲种子激光器具有把预脉冲输出调谐到波长λ1的调谐模块;主脉冲种子激光器,所述主脉冲种子激光器产生波长λ2的激光输出;以及光束组合器,用于通过光学放大器在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出。
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