- 专利标题: 用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器
- 专利标题(英): Master oscillator-power amplifier drive laser with pre-pulse for EUV light source
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申请号: CN201180030300.9申请日: 2011-05-24
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公开(公告)号: CN102971922A公开(公告)日: 2013-03-13
- 发明人: K-C·侯 , R·L·桑德斯特伦 , W·N·帕特洛 , D·J·W·布朗 , I·V·福缅科夫
- 申请人: 西默股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 西默股份有限公司
- 当前专利权人: ASML,荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 刘佳
- 优先权: 61/398,452 2010.06.24 US; 13/077,236 2011.03.31 US
- 国际申请: PCT/US2011/037793 2011.05.24
- 国际公布: WO2011/162903 EN 2011.12.29
- 进入国家日期: 2012-12-19
- 主分类号: H01S3/00
- IPC分类号: H01S3/00
摘要:
本文描述一种设备,所述设备可以包括:光学放大器,所述光学放大器具有包括波长λ1和λ2的增益带,其中λ1≠λ2;预脉冲种子激光器,所述预脉冲种子激光器具有把预脉冲输出调谐到波长λ1的调谐模块;主脉冲种子激光器,所述主脉冲种子激光器产生波长λ2的激光输出;以及光束组合器,用于通过光学放大器在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出。
公开/授权文献
- CN102971922B 用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器 公开/授权日:2015-02-18