- 专利标题： 用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器
- 专利标题（英）： Master oscillator-power amplifier drive laser with pre-pulse for EUV light source
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申请号： CN201180030300.9申请日： 2011-05-24
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公开(公告)号： CN102971922B公开(公告)日： 2015-02-18
- 发明人: K-C·侯 , R·L·桑德斯特伦 , W·N·帕特洛 , D·J·W·布朗 , I·V·福缅科夫
- 申请人： ASML荷兰股份有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍恩
- 专利权人： ASML荷兰股份有限公司
- 当前专利权人： ASML,荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍恩
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 刘佳
- 优先权： 61/398,452 2010.06.24 US; 13/077,236 2011.03.31 US
- 国际申请： PCT/US2011/037793 2011.05.24
- 国际公布： WO2011/162903 EN 2011.12.29
- 进入国家日期： 2012-12-19
- 主分类号： H01S3/00
- IPC分类号： H01S3/00
摘要：
本文描述一种设备，所述设备可以包括：光学放大器，所述光学放大器具有包括波长λ1和λ2的增益带，其中λ1≠λ2；预脉冲种子激光器，所述预脉冲种子激光器具有把预脉冲输出调谐到波长λ1的调谐模块；主脉冲种子激光器，所述主脉冲种子激光器产生波长λ2的激光输出；以及光束组合器，用于通过光学放大器在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出。
公开/授权文献
- CN102971922A 用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器 公开/授权日：2013-03-13
