- 专利标题: 薄膜晶体管的半导体层用氧化物和溅射靶以及薄膜晶体管
- 专利标题(英): Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor
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申请号: CN201180019734.9申请日: 2011-04-18
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公开(公告)号: CN102859701A公开(公告)日: 2013-01-02
- 发明人: 三木绫 , 岩成裕美 , 钉宫敏洋 , 森田晋也 , 寺尾泰昭 , 安野聪 , 朴在佑 , 李制勋 , 安秉斗
- 申请人: 株式会社神户制钢所 , 三星显示有限公司
- 申请人地址: 日本兵库县
- 专利权人: 株式会社神户制钢所,三星显示有限公司
- 当前专利权人: 株式会社神户制钢所,三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 日本兵库县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 雒运朴
- 优先权: 2010-097350 2010.04.20 JP; 2010-156232 2010.07.08 JP; 2011-008324 2011.01.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/059554 2011.04.18
- 国际公布: WO2011/132644 JA 2011.10.27
- 进入国家日期: 2012-10-18
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L21/363
摘要:
本发明提供一种薄膜晶体管的开关特性优异,特别是在ZnO浓度高的区域,另外在形成保护膜后和外加应力后,仍可以稳定得到良好的特性的薄膜晶体管半导体层用氧化物。本发明的薄膜晶体管的半导体层用氧化物,是用于薄膜晶体管的半导体层的氧化物,其中,所述氧化物含有Zn和Sn,还含有从由Al、Hf、Ta、Ti、Nb、Mg、Ga和稀土类元素构成的X群中选择的至少一种元素。
公开/授权文献
- CN102859701B 薄膜晶体管的半导体层用氧化物和溅射靶以及薄膜晶体管 公开/授权日:2015-06-24
IPC分类: