键合机上的力传感器的安装结构及键合机
摘要:
本发明提供的键合机上的力传感器的安装结构,用于安装力传感器,安装结构包括位于键合机的Z向动臂内部的与力传感器的相配合的嵌槽。本发明的键合机,包括Z向动臂和超声波换能器,Z向动臂内部设置有形状与力传感器的形状相配合的嵌槽,力传感器安装于嵌槽内。本发明的键合机上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装,力传感器安装于Z向动臂的内部,防止力传感器在使用中受到外界干扰,测量结果更为稳定、精确。本发明的键合机,其上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装,力传感器安装于Z向动臂的内部,防止力传感器在使用中受到外界干扰,测量结果更为稳定、精确。
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