发明授权
CN102820205B 键合机上的力传感器的安装结构及键合机
失效 - 权利终止
- 专利标题: 键合机上的力传感器的安装结构及键合机
- 专利标题(英): Installation structure of force sensor on bonder and bonder
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申请号: CN201110154792.4申请日: 2011-06-09
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公开(公告)号: CN102820205B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 李朝军
- 申请人: 北京中电科电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市北京经济技术开发区西环南路18号A119室
- 专利权人: 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市北京经济技术开发区西环南路18号A119室
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 赵爱军
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/607 ; G01L1/00
摘要:
本发明提供的键合机上的力传感器的安装结构,用于安装力传感器,安装结构包括位于键合机的Z向动臂内部的与力传感器的相配合的嵌槽。本发明的键合机,包括Z向动臂和超声波换能器,Z向动臂内部设置有形状与力传感器的形状相配合的嵌槽,力传感器安装于嵌槽内。本发明的键合机上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装,力传感器安装于Z向动臂的内部,防止力传感器在使用中受到外界干扰,测量结果更为稳定、精确。本发明的键合机,其上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装,力传感器安装于Z向动臂的内部,防止力传感器在使用中受到外界干扰,测量结果更为稳定、精确。
公开/授权文献
- CN102820205A 键合机上的力传感器的安装结构及键合机 公开/授权日:2012-12-12
IPC分类: