发明授权
- 专利标题: 单臂升降装置和双臂升降装置
- 专利标题(英): Single-arm lifting device and dual-arm lifting device
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申请号: CN201110156393.1申请日: 2011-06-10
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公开(公告)号: CN102817010B公开(公告)日: 2015-04-15
- 发明人: 赵海洋
- 申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
- 专利权人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: C23C16/44
- IPC分类号: C23C16/44 ; B66F7/28
摘要:
本发明实施例公开了一种单臂升降装置和一种双臂升降装置,属于电子制造技术领域。本发明提供的单臂升降装置和双臂升降装置能够保证托架平稳上升或下降。该单臂升降装置,包括对射传感器,对射传感器的发射端设置于升降臂上,对射传感器的接收端设置于托架远离升降臂的一端;或者,对射传感器的接收端设置于升降臂上,对射传感器的发射端设置于托架远离升降臂的一端。该双臂升降装置,包括对射传感器,对射传感器的发射端和接收端分别设置于两个升降臂上。本发明应用于改进升降装置。
公开/授权文献
- CN102817010A 单臂升降装置和双臂升降装置 公开/授权日:2012-12-12
IPC分类: