发明授权
CN102707586B 一种前烘设备及其排气方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种前烘设备及其排气方法
- 专利标题（英）： Prebaking device and exhaust method of prebaking device
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申请号： CN201210158972.4申请日： 2012-05-21
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公开(公告)号： CN102707586B公开(公告)日： 2013-12-18
- 发明人: 曹旭东 , 李性照 , 尹冬冬 , 李坤 , 华新孝 , 吴利峰 , 李超 , 王文须
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 黄灿; 姜精斌
- 主分类号： G03F7/38
- IPC分类号： G03F7/38 ; H01L21/67
摘要：
本发明提供了一种前烘设备及其排气方法。本发明通过对前烘设备的结构进行改进，利用填充物对气体进行干燥及过滤，从而可以直接使用外部气体作为排气气源，在前烘工艺中进行排气，因此无需额外的新增热风系统，能够以较低成本改善前烘工艺中的排气效果。
公开/授权文献
- CN102707586A 一种前烘设备及其排气方法 公开/授权日：2012-10-03
IPC分类:
