发明授权
- 专利标题： 蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法
- 专利标题（英）： Preparation method for indium tin oxide target for vapor deposition of blue LED
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申请号： CN201210137632.3申请日： 2012-05-07
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公开(公告)号： CN102650042B公开(公告)日： 2013-10-23
- 发明人: 陈明飞
- 申请人： 长沙壹纳光电材料有限公司
- 申请人地址： 湖南省长沙市宁乡县金洲新区澳洲路068号
- 专利权人： 长沙壹纳光电材料有限公司
- 当前专利权人： 长沙壹纳光电材料有限公司
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市宁乡县金洲新区澳洲路068号
- 代理机构： 长沙永星专利商标事务所
- 代理商 周咏; 米中业
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C23C14/08
摘要：
本发明公开了一种蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法。该方法包括如下步骤：将经过一次烧结得到的铟锡氧化物初靶进行二次烧结，控制二次烧结时的温度为1450～1480℃，氧分压-0.01MPa～-0.095MPa，烧结时间为2～3小时。本发明能提高氧化锡在氧化铟中的固溶度，使铟锡氧化物靶导电性更好，将此铟锡氧化物靶用于蒸镀蓝光LED，获得的铟锡氧化物膜具有更高的导电性和更高的蓝光透过率。
公开/授权文献
- CN102650042A 蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法 公开/授权日：2012-08-29
IPC分类:
