一种基板的多层隔片式IC芯片堆叠封装件及其生产方法
摘要:
本发明公开了一种基板的多层隔片式IC芯片堆叠封装件及其生产方法,封装件包括BT基板,BT基板的载体上粘接有至少两块IC芯片,所有的IC芯片依次堆叠粘贴,各IC芯片上的焊盘通过键合线与BT基板上的焊盘相连接,BT基板上固封有塑封体,相邻两IC芯片之间粘贴有隔片。将晶圆和隔片减薄划片,在BT基板的载体上粘接IC芯片,然后在该IC芯片上粘接隔片,隔片上再粘接IC芯片,堆叠的层数满足使用要求,每粘接一块IC芯片均需烘烤、等离子清洗、压焊,然后再继续粘接IC芯片,之后采用现有工艺进行后续工序,制得要求层数的基板的多层隔片式IC芯片堆叠封装件。本封装件不影响键合线的高度,提高了芯片的散热和绝缘性能。
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