本发明公开了一种基于双层金属的混合型表面等离子激元光波导，该波导结构的横截面包括基底层(1)、位于基底层上的金属层(2)、位于金属层(2)上的低折射率介质层(3)、嵌于低折射率介质层(3)中的高折射率介质区域(4)、位于低折射率介质层(4)上的金属层(5)以及包层(6)。高折射率介质区域(4)与其邻近的两个金属层(2、5)之间的耦合使得光场能被显著地限制在低折射率介质层(3)和高折射率介质区域(4)中，同时较低的传输损耗。所述光波导与现有加工工艺相匹配，可用于构建各类无源光子器件，此外，波导中基底层上金属层的存在使得其与外电极的连接成为可能，因而可应用于电光、热光调制等诸多领域。